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薄膜プロセス工学研究室へようこそ

次世代薄膜形成技術による新材料の創出

薄膜プロセス工学研究室は、薄膜材料のさらなる高機能化と新素材の創出を目指し，プラズマを用いた薄膜・ナノ材料創製プロセスに関する研究を行っています．プラズマ中の「イオン」の動的特性を解明していく事で，材料の構成粒子を原子・分子レベルで精密に制御し，従来のプロセスでは形成が困難であった新規材料の創出とその産業化に向けて日々挑戦しています．

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研究トピックス

プラズマ分析に基づいたプロセス設計と新規薄膜材料・ナノ材料の創出を目指して

本研究室は2020年度に東京都立大学機械システム工学科先端材料加工学研究室(楊研究室)から独立し
新しく設立された研究室です。これまで推進してきた機械システムにおける表面設計・表面機能の創出に関する研究を出発点として、革新的な薄膜プロセス開発を軸に数多くの産業分野に貢献して参りました。詳細につきましては、以下をご覧ください。